他从来不怕问题太难,有问题,反而是好事。
蔻依深吸一口气,问题实在太多,一时间竟不知道该从哪里说起好,在脑海中组织了好半天语言,才开口说道,“传统LSW模型假设熔体为理想溶液,但氧化镓熔体含镓空位和氧间隙等缺陷,实际扩散速率比模型预测低30%。”
“有限元仿真中热导率参数取经验值,氧化镓热导率1.9W/m·K,但实际晶圆因杂质掺杂了Si、Mg,热导率波动±20%,导致温度场预测误差达±15%……”
“我们也考虑过引入机器学习,用超算来训练预测模型,但氧化镓晶圆量产中,缺陷数据,如位错、裂纹具有低概率、高维度特征,这就导致良品数据占比95%,缺陷数据仅5%,模型易陷入‘过拟合良品’,漏检缺陷率高达10%!”
鄂维南院士是机器学习方面的专家,引入机器学习倒也是应有之理,没想到这都遇到了问题,看来氧化镓的工业化的确没预想中的那么简单。
“氧化镓晶圆生长涉及温度场、流场、应力场、电场的多物理场耦合,导模法生长中,熔体流动影响温度梯度,温度梯度又导致晶体应力,传统单场仿真无法准确预测工艺结果……”
“量产产线要求工艺参数,提拉速度、温度等要求毫秒级响应,但传统数学MPC模型需迭代求解优化问题,计算耗时达秒级,根本无法满足实时控制需求……”
蔻依显然是有备而来,这些问题她早已烂熟于心,竹筒倒豆子般的倒给了陈辉。
实际问题比蔻依提出的还要多得多,只是如果上面这些主要问题能够解决一两个,就基本上能满足氧化镓工业化问题了。
“我们去实验室看看吧。”
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