光束矫正器、能量控制器、光束整形装置、遮光器、掩模板、投影物镜组、曝光台、掩膜台、硅片台、高精度对准工作台、离子注入台等几十台精密设备开始被小心翼翼地组装在一起，每一个步骤都需要高度的专注和精确的操作。
“好了，开始吧！”
所有的设备组装完成，接下来就是调试阶段。
“稳定光速在13.5nm波长，将掩膜版图案与晶圆位置对准误差控制在±1.5nm以内，保持移动速度达1m/s，同时定位精度仍需保持0.5nm...”
胡立国和冯爱民一边仔细地观察着设备的运行情况，一边大声地喊出调试的要求和参数。
其他工程师们则根据他们的指令，紧张而有序地进行着调整。
“这个不行！”
“再调整一下。”
“好！”
“可以把振幅调下一些。”
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