“应该用不了多久你就会明白了。”
杨驰没有多说,事实胜于雄辩。
张星看向控制台上跟鄂维南院士讨论的陈辉,眼神中带着迟疑,他倒是希望陈辉真的能有杨驰说的那样厉害,作为国家特殊机构的研究员,他比任何人都希望氧化镓能够工业化量产,也比任何人都清楚,那将是何等的盛世!
……
实验流程陈辉早就有所了解,并不需要鄂老过多解释。
总控台上足有十多面屏幕,上面是实时监控的各种参数的实时监控数据,温度、压力、气体流量、坩埚转速、籽晶取向等,每个屏幕上展示的不仅是实时数据,还有模型预测出来的走向,以及历史数据,误差等各种维度的数据。
在看到这些数据时,陈辉也明白为什么这个问题会困扰大家这么长时间了,氧化镓晶圆生长涉及数十个工艺变量,传统数学优化方法全因子实验设计需进行指数级实验(2次),成本极高,难度极大。
当然,说到底还是因为每一个工艺背后作为支撑的基础工艺水平不到,达不到工业化需要的精度,才需要他们从数学上想办法,通过软件的性能来弥补硬件的缺陷。
想明白这些问题后,陈辉再看向屏幕上的各种数据,眼前已然是不同的世界。
溶液扩散模型与实际有偏差,只需要修正模型热力学参数即可,鄂老他们做不到,只不过是因为他们找不到一个准确的切入点,没理清模型与实际现象之间的联系罢了。
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