陈辉也正好在质量间隙问题上久攻不下,换换脑子也好。
“问题太多了!”
蔻依轻叹一声,“氧化镓晶体生长需精确控制温度梯度±0.1℃,但目前工业化设备根本达不到这个水平,只能在±0.5℃左右,导致晶界缺陷密度增加。”
“在使用垂直布里奇曼法时,又依赖铂铑坩埚,但现有坩埚在高温下易氧化变形,寿命极短,频繁更换导致工艺中断。”
蔻依竹筒倒豆子般的在陈辉面前诉苦。
这些陈辉倒是有所耳闻,鄂老他们研发新的耐热材料就是为了解决坩埚寿命问题。
“最近鄂老的确取得了不错的效果,坩埚是没问题了,但8英寸晶圆在快速冷却时因晶格膨胀系数差异易产生应力裂纹,缺陷密度高达10cm,都已经不是影响器件寿命,索性都没法正常使用……”
“等等,你说什么?”
一道灵光在陈辉脑海中闪过,他抬手打断了蔻依的话。
“啊?”
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